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一、硅烷废气处理工艺概述

硅烷燃烧塔采用燃烧洗涤法净化硅烷气体，系统内包含：硅烷燃烧塔+滤筒除尘+喷淋塔洗涤。主要用于单晶硅、多晶硅行业生产中产生的硅烷尾气净化。

二、工作原理

工作原理是硅烷与输入的压缩空气或新风补气口补入的空气接触而自燃或发生氧化反应，反应后生成大量的二氧化硅粉尘；氨气采用洗涤塔喷淋吸收形成氨水。内部燃烧室采用特殊的泄压装置，即使在内部压力突然增大的情况下仍能正常工作，同时配备了氮气入口，更加大了设备的稳定性。

在粉尘收集方面采用静压沉积的方法，沉积下来的粉尘通过排渣口排出，这使粉尘收集处理变得更容易，后续工艺还配套了滤筒除尘技术，进一步去除氧化硅粉尘，提升粉尘的治理效率。

一般设备运行三个月左右需清理二氧化硅粉尘，六个月至一年需清洗设备内部的吸收填料、收水填料及喷头。

三、用途

主要适用于太阳能、光伏行业、半导体行业及CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体净化。